KLA iMicro納米壓痕儀標(biāo)配InForce 1000作動(dòng)器，用于進(jìn)行納米壓痕和納米力學(xué)試驗(yàn)，并可選配InForce 50作動(dòng)器用于測試較軟的材料。InView 軟件包靈活、現(xiàn)代，讓用戶輕松進(jìn)行納米尺度測試。KLA iMicro納米壓痕儀是一款緊湊型測試平臺(tái)，其箱體中內(nèi)置高速InQuest控制器和隔振框架。各種不同的材料和器件均可以進(jìn)行測試，包括金屬、陶瓷、復(fù)合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等。

產(chǎn)品特色

• InForce 1000作動(dòng)器采用電容式位移傳感和電磁力驅(qū)動(dòng)，且壓頭易于更換

• InForce 50作動(dòng)器選件，提供最大50mN的法向力，可用于測量較軟的材料；Gemini 2D作動(dòng)器選件，可實(shí)現(xiàn)兩個(gè)方向的動(dòng)態(tài)測量的壓頭校準(zhǔn)系統(tǒng)，集成在軟件中，可實(shí)現(xiàn)快速、準(zhǔn)確的壓頭校準(zhǔn)

• InQuest高速控制器電路，數(shù)據(jù)采集速率可達(dá)100kHz，時(shí)間常數(shù)最快為20µs

• XY運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)以及易于安裝的磁性樣品臺(tái)

• 高剛度框架，且集成隔振功能

• 集成顯微鏡，數(shù)字變焦，可實(shí)現(xiàn)精確的壓痕定位

• 符合ISO 14577等標(biāo)準(zhǔn)的測試方法

• InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在線培訓(xùn)和InView移動(dòng)應(yīng)用程序

產(chǎn)品應(yīng)用

• 硬度和模量測量（基于Oliver-Pharr模型）

• 快速材料力學(xué)性能成像

• ISO 14577 硬度測試

• 聚合物損耗因子、儲(chǔ)存模量和損耗模量

• 定量的劃痕和磨損測試

• 高溫納米壓痕測試

適用行業(yè)

• 大學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)室和研究所

• 半導(dǎo)體與封裝產(chǎn)業(yè)

• PVD/CVD 硬質(zhì)涂層（DLC、TiN）

• MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)/納米力學(xué)試驗(yàn)

• 陶瓷與玻璃

• 金屬與合金

• 制藥

• 涂層 涂料

• 復(fù)合材料

• 電池與儲(chǔ)能

• 汽車與航空航天